excimer laser processing equipment for wafer stepper是什么意思


中文翻译准分子雷射(缩小投影曝光设)

网络释义

1)excimer laser processing equipment for wafer stepper,准分子雷射(缩小投影曝光设)2)PELDI,电子束缩小投影曝光机3)electron beam projection lithography (EBPL),电子束缩小投影曝光4)PELDI,缩小投影电子束曝光5)projection aligner,投影对准曝光器6)projection electron beam lithography,电子束投影曝光

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