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1)reactive sputter etching system,反应性溅镀蚀刻系统2)reactive sputtering system,反应性溅镀系统3)reactive ion beam etching system/RIBE system,反应性离子束蚀刻系统4)reactive ion etching system/RIE system,反应性离子蚀刻系统/RIE 系统5)hexode type reactive ion etching system,六角柱型反应性离子蚀刻系统6)magnetron enhanced reactive ion etaching system,磁控管增强型反应性离子蚀刻系统

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